【東莞LDE】澳大利亞BluGlass與愛思強合作，整合并評估RPCVD技術(shù)

文章出處：新聞中心責(zé)任編輯：東莞市萬興智能科技有限公司發(fā)表時間：2019-01-04

　　據(jù)外媒報道，澳大利亞BluGlass公司正在與德國的沉積設(shè)備制造商Aixtron （愛思強）合作，以評估BluGlass的RPCVD（遠程等離子體化學(xué)氣相沉積）技術(shù)。

BluGlass選擇了Aixtron的系統(tǒng)，將RPCVD擴展到批量生產(chǎn)的能力，首次集成將在BluGlass的悉尼Silverwater工廠進行。據(jù)悉，BluGlass的RPCVD技術(shù)可實現(xiàn)III-V氮化物材料的低溫沉積，從而有可能提高器件的性能。

BluGlass的總經(jīng)理Giles Bourne表示，“我們非常高興獲得愛思強對我們這一重大擴展項目的支持”，“這是展示RPCVD批量生產(chǎn)可行性的重要一步”。

愛思強集團創(chuàng)新官Ken Teo博士說，“在愛思強，我們一直在努力將新技術(shù)引入我們的平臺”，“我們希望探索RPCVD技術(shù)在氮化物層低溫沉積方面的潛力，這可能為光電/電子設(shè)備開辟新的可能性；我們期待與BluGlass合作，整合RPCVD并評估該技術(shù)。”

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