作為L(zhǎng)ED芯片生產(chǎn)過程中最為關(guān)鍵的設(shè)備,MOCVD的核心技術(shù)長(zhǎng)期被歐美企業(yè)所壟斷,嚴(yán)重制約了中國(guó)LED產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展。中晟光電設(shè)備(上海)有限公司于今年初1月18日成功實(shí)現(xiàn)了擁有自主創(chuàng)新知識(shí)產(chǎn)權(quán)的具有世界先進(jìn)水平的大型國(guó)產(chǎn)MOCVD設(shè)備下線,僅用了10個(gè)月時(shí)間,又完成了工藝的開發(fā)和設(shè)備進(jìn)一步的改進(jìn)優(yōu)化,完成了設(shè)備產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)必備條件與設(shè)施的建立;在此基礎(chǔ)上又完成了4家客戶的多次實(shí)地考察,親臨操作設(shè)備和驗(yàn)證各項(xiàng)工藝。
客戶充分肯定了中晟設(shè)備的技術(shù)方向和設(shè)計(jì)上的世界先進(jìn)性,也對(duì)設(shè)備用于大規(guī)模生產(chǎn)提出了進(jìn)一步改進(jìn)的建設(shè)性要求。使該設(shè)備同時(shí)具有目前世界上最高的系統(tǒng)產(chǎn)能、最低的外延生產(chǎn)成本、良好的波長(zhǎng)均勻性、大規(guī)模外延生產(chǎn)所需的各項(xiàng)關(guān)鍵性能等4項(xiàng)核心的差異競(jìng)爭(zhēng)力。這次我國(guó)首臺(tái)具有世界先進(jìn)水平的大型國(guó)產(chǎn)MOCVD設(shè)備成功發(fā)運(yùn),不僅標(biāo)志著在實(shí)現(xiàn)中國(guó)大型MOCVD設(shè)備國(guó)產(chǎn)化戰(zhàn)略目標(biāo)的征途上,中晟邁開了具有里程碑意義的一步,而且充分體現(xiàn)了中國(guó)有能力在高端裝備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)跨越式的發(fā)展。
中晟管理團(tuán)隊(duì)表示,首臺(tái)MOCVD設(shè)備的發(fā)運(yùn)還僅僅是一個(gè)階段性成果。雖然MOCVD設(shè)備長(zhǎng)期被壟斷的局面已經(jīng)打破,但在實(shí)現(xiàn)MOCVD設(shè)備國(guó)產(chǎn)化戰(zhàn)略目標(biāo)的征途上還將面臨各種挑戰(zhàn),要不斷提高性能以滿足客戶的需要,并在市場(chǎng)上得到的檢驗(yàn)與認(rèn)可。
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